TY  - RPRT
TI  - A microfabricated sensor for thin dielectric layers
AU  - P. Fierlinger
AU  - R. DeVoe
AU  - B. Flatt
AU  - G. Gratta
AU  - M. Green
AU  - S. Kolkowitz
AU  - F. Leport
AU  - M. Montero Diez
AU  - R. Neilson
AU  - K. O'Sullivan
AU  - A. Pocar
AU  - J. Wodin
PY  - 2008
DO  - 10.1063/1.2906402
UR  - https://arxiv.org/abs/0706.0540
ID  - 0706.0540
ER  -