TY  - RPRT
TI  - Microelectromechanical components in electrical metrology
AU  - Antti Manninen
AU  - Anu Karkkainen
AU  - Nadine Pesonen
AU  - Aarne Oja
AU  - Heikki Seppa
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0707.0637
ID  - 0707.0637
ER  -