TY  - RPRT
TI  - BCB Based Packaging for Low Actuation Voltage RF MEMS Devices
AU  - David Peyrou
AU  - Fabienne Pennec
AU  - Hikmat Achkar
AU  - Patrick Pons
AU  - Fabio Coccetti
AU  - Hervé Aubert
AU  - Robert Plana
PY  - 2007
DO  - 10.1557/proc-0969-w05-06
UR  - https://arxiv.org/abs/0709.3022
ID  - 0709.3022
ER  -