TY  - RPRT
TI  - Electromagnetic Field Simulations of Isolated and Periodic 3D Photomask Patterns
AU  - S. Burger
AU  - L. Zschiedrich
AU  - F. Schmidt
AU  - R. Köhle
AU  - B. Küchler
AU  - C. Nölscher
PY  - 2007
DO  - 10.1117/12.746392
UR  - https://arxiv.org/abs/0709.3934
ID  - 0709.3934
ER  -