TY  - RPRT
TI  - High quality mechanical and optical properties of commercial silicon nitride membranes
AU  - B. M. Zwickl
AU  - W. E. Shanks
AU  - A. M. Jayich
AU  - C. Yang
AU  - A. C. Bleszynski Jayich
AU  - J. D. Thompson
AU  - J. G. E. Harris
PY  - 2007
DO  - 10.1063/1.2884191
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.2263
ID  - 0711.2263
ER  -