TY  - RPRT
TI  - 3-D Self-Assembled Soi Mems: An Example of Multiphysics Simulation
AU  - C. Mendez
AU  - C. Louis
AU  - S. Paquay
AU  - P. De Vincenzo
AU  - I. Klapka
AU  - V. Rochus
AU  - F. Iker
AU  - Nicolas André
AU  - J. -P. Raskin
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.3277
ID  - 0711.3277
ER  -