TY  - RPRT
TI  - Parametric Yield Analysis of Mems via Statistical Methods
AU  - S. -P. Vudathu
AU  - K. -K. Duganapalli
AU  - Rainer Laur
AU  - D. Kubalinska
AU  - A. Bunse-Gerstner
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.3287
ID  - 0711.3287
ER  -