TY  - RPRT
TI  - Electromechanical Reliability Testing of Three-Axial Silicon Force Sensors
AU  - S. Spinner
AU  - J. Bartholomeyczik
AU  - B. Becker
AU  - M. Doelle
AU  - O. Paul
AU  - I. Polian
AU  - R. Roth
AU  - K. Seitz
AU  - P. Ruther
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.3289
ID  - 0711.3289
ER  -