TY  - RPRT
TI  - A Generic Surface Micromachining Module for Mems Hermetic Packaging at Temperatures Below 200 degrees C
AU  - R. Hellin-Rico
AU  - J. -P. Celis
AU  - K. Baert
AU  - C. Van Hoof
AU  - A. Witvrouw
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.3317
ID  - 0711.3317
ER  -