TY  - RPRT
TI  - New Internal Stress Driven on-Chip Micromachines for Extracting Mechanical Properties of Thin Films
AU  - D. Fabrègue
AU  - Nicolas André
AU  - T. Pardoen
AU  - J. P. Raskin
PY  - 2007
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.3332
ID  - 0711.3332
ER  -