TY  - RPRT
TI  - Temperature measurement of sub-micrometric ICs by scanning thermal microscopy
AU  - S. Gomès
AU  - Po Chapuis
AU  - F. Nepveu
AU  - N. Trannoy
AU  - S. Volz
AU  - B. Charlot
AU  - Gilles Tessier
AU  - S. Dilhaire
AU  - Bernard Cretin
AU  - Pascal Vairac
PY  - 2007
DO  - 10.1109/tcapt.2007.901748
UR  - https://arxiv.org/abs/0711.4530
ID  - 0711.4530
ER  -