TY  - RPRT
TI  - Micro-Hotplates for Thermal Characterisation of Structural Materials of Mems
AU  - P. Furjes
AU  - P. Csikvari
AU  - I. Bársony
AU  - Cs. Ducso
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0801.0750
ID  - 0801.0750
ER  -