TY  - RPRT
TI  - Vibration Combined High Temperature Cycle Tests for Capacitive MEMS Accelerometers
AU  - Z. Szucs
AU  - G. Nagy
AU  - S. Hodossy
AU  - M. Rencz
AU  - A. Poppe
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0801.1030
ID  - 0801.1030
ER  -