TY  - RPRT
TI  - Ion beam shaping and downsizing of nanostructures
AU  - M. Zgirski
AU  - K. P. Riikonen
AU  - V. Tuboltsev
AU  - P. Jalkanen
AU  - T. T. Hongisto
AU  - K. Yu Arutyunov
PY  - 2008
DO  - 10.1088/0957-4484/19/05/055301
UR  - https://arxiv.org/abs/0801.2515
ID  - 0801.2515
ER  -