TY  - RPRT
TI  - Strain selectivity of SiGe wet chemical etchants
AU  - M. Stoffel
AU  - A. Malachias
AU  - T. Merdzhanova
AU  - F. Cavallo
AU  - G. Isella
AU  - D. Chrastina
AU  - H. von Kaenel
AU  - A. Rastelli
AU  - O. G. Schmidt
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0801.4211
ID  - 0801.4211
ER  -