TY  - RPRT
TI  - Fabrication of MEMS Resonators in Thin SOI
AU  - D. Grogg
AU  - Nicoleta Diana Badila-Ciressan
AU  - Adrian Mihai Ionescu
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3040
ID  - 0802.3040
ER  -