TY  - RPRT
TI  - Gas Damping Coefficient Research for MEMS Comb Linear Vibration Gyroscope
AU  - G. Qiufen
AU  - G. Yuansheng
AU  - S. Feng
AU  - L. Fuqiang
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3048
ID  - 0802.3048
ER  -