TY  - RPRT
TI  - Silicon on Nothing Mems Electromechanical Resonator
AU  - C. Durand
AU  - F. Casset
AU  - P. Ancey
AU  - F. Judong
AU  - A. Talbot
AU  - R. Quenouillere
AU  - D. Renaud
AU  - S. Borel
AU  - B. Florin
AU  - L. Buchaillot
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3051
ID  - 0802.3051
ER  -