TY - RPRT TI - Copper Planar Microcoils Applied to Magnetic Actuation AU - J. Moulin AU - M. Woytasik AU - E. Martincic AU - E. Dufour-Gergam PY - 2008 UR - https://arxiv.org/abs/0802.3052 ID - 0802.3052 ER -