TY - RPRT TI - Development and Application of a Diaphragm Micro-Pump with Piezoelectric Device AU - H. K. Ma AU - B. R. Hou AU - H. Y. Wu AU - C. Y. Lin AU - J. J. Gao AU - M. C. Kou PY - 2008 UR - https://arxiv.org/abs/0802.3070 ID - 0802.3070 ER -