TY  - RPRT
TI  - Tuneable Capacitor based on dual picks profile of the sacrificial layer
AU  - S. Soulimane
AU  - F. Casset
AU  - F. Chapuis
AU  - P. -L. Charvet
AU  - M. aïd
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3078
ID  - 0802.3078
ER  -