TY  - RPRT
TI  - A High-Q Microwave MEMS Resonator
AU  - Z. Jian
AU  - Y. Yuanwei
AU  - Z. Yong
AU  - Chen Chen
AU  - J. Shixing
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3081
ID  - 0802.3081
ER  -