TY  - RPRT
TI  - Modeling of a piezoelectric micro-scanner
AU  - A. Chaehoi
AU  - M. Begbie
AU  - D. Cornez
AU  - K. Kirk
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3090
ID  - 0802.3090
ER  -