TY  - RPRT
TI  - 0-level Vacuum Packaging RT Process for MEMS Resonators
AU  - N. Abelé
AU  - D. Grogg
AU  - C. Hibert
AU  - F. Casset
AU  - P. Ancey
AU  - A. Ionescu
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3093
ID  - 0802.3093
ER  -