TY  - RPRT
TI  - One MEMS Design Tool with Maximal Six Design Flows
AU  - H. Chang
AU  - J. Xu
AU  - J. Xie
AU  - Ch. Zhang
AU  - Z. Yan
AU  - W. Yuan
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3105
ID  - 0802.3105
ER  -