TY  - RPRT
TI  - Architecture for Integrated Mems Resonators Quality Factor Measurement
AU  - H. Mathias
AU  - F. Parrain
AU  - J. -P. Gilles
AU  - S. Megherbi
AU  - M. Zhang
AU  - Ph. Coste
AU  - A. Dupret
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0802.3767
ID  - 0802.3767
ER  -