TY  - RPRT
TI  - Study of improving nano-contouring performance by employing cross-coupling controller
AU  - Wen Yuh Jywe
AU  - Shih Shin Chen
AU  - Hung-Shu Wang
AU  - Chien Hung Liu
AU  - Hsin Hung Jwo
AU  - Yun Feng Teng
AU  - Tung Hsien Hsieh
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0804.4749
ID  - 0804.4749
ER  -