TY  - RPRT
TI  - Study of low energy Si$_5^-$ and Cs$^-$ implantation induced amorphization effects in Si(100)
AU  - H. P. Lenka
AU  - B. Joseph
AU  - P. K. Kuiri
AU  - G. Sahu
AU  - P. Mishra
AU  - D. Ghose
AU  - D. P. Mahapatra
PY  - 2008
DO  - 10.1088/0022-3727/41/21/215305
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0066
ID  - 0805.0066
ER  -