TY  - RPRT
TI  - Design And Fabrication of Condenser Microphone Using Wafer Transfer And Micro-electroplating Technique
AU  - Zhen-Zhun Shu
AU  - Ming-Li Ke
AU  - Guan-Wei Chen
AU  - Ray Hua Horng
AU  - Chao-Chih Chang
AU  - Jean-Yih Tsai
AU  - Chung-Ching Lai
AU  - Ji-Liang Chen
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0856
ID  - 0805.0856
ER  -