TY  - RPRT
TI  - Porous Alumina Based Capacitive MEMS RH Sensor
AU  - L. Juhasz
AU  - A. Vass-Varnai
AU  - Veronika Timar-Horvath
AU  - Marc Desmulliez
AU  - Resh Dhariwal
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0857
ID  - 0805.0857
ER  -