TY  - RPRT
TI  - Micro Embossing of Ceramic Green Substrates for Micro Devices
AU  - X. -C. Shan
AU  - S. H. Ling
AU  - H. P. Maw
AU  - C. W. Lu
AU  - Y. C. Lam
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0862
ID  - 0805.0862
ER  -