TY - RPRT TI - Micromachined Inclinometer Based on Fluid Convection AU - N. Crespy AU - J. Courteaud AU - P. Combette AU - P. Temple Boyer AU - A. Giani AU - A. Foucaran PY - 2008 UR - https://arxiv.org/abs/0805.0904 ID - 0805.0904 ER -