TY  - RPRT
TI  - High Density out-of-Plane Microprobe Array
AU  - Huang C. H. Huang C. H.
AU  - Chingfu Tsou
AU  - Tenghsien Lai
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0911
ID  - 0805.0911
ER  -