TY  - RPRT
TI  - Fabrication of 3D Packaging TSV using DRIE
AU  - M. Puech
AU  - Jean-Marc Thevenoud
AU  - J. M. Gruffat
AU  - N. Launay
AU  - N. Arnal
AU  - P. Godinat
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0919
ID  - 0805.0919
ER  -