TY - RPRT TI - Low Voltage Totally Free Flexible RF MEMS Switch With Anti-Stiction System AU - Salim Touati AU - Nicolas Lorphelin AU - Alexandre Kanciurzewski AU - Renaud Robin AU - A. -S. Rollier AU - Olivier Millet AU - Karim Segueni PY - 2008 UR - https://arxiv.org/abs/0805.0932 ID - 0805.0932 ER -