TY  - RPRT
TI  - A New Four States High Deflection Low Actuation Voltage Electrostatic Mems Switch for RF Applications
AU  - Renaud Robin
AU  - Salim Touati
AU  - Karim Segueni
AU  - Olivier Millet
AU  - Lionel Buchaillot
PY  - 2008
UR  - https://arxiv.org/abs/0805.0934
ID  - 0805.0934
ER  -