TY  - RPRT
TI  - Single-atom doping for quantum device development in diamond and silicon
AU  - C. D. Weis
AU  - A. Schuh
AU  - A. Batra
AU  - A. Persaud
AU  - I. W. Rangelow
AU  - J. Bokor
AU  - C. C. Lo
AU  - S. Cabrini
AU  - E. Sideras-Haddad
AU  - G. D. Fuchs
AU  - R. Hanson
AU  - D. D. Awschalom
AU  - T. Schenkel
PY  - 2008
DO  - 10.1116/1.2968614
UR  - https://arxiv.org/abs/0806.2167
ID  - 0806.2167
ER  -