TY  - RPRT
TI  - Mapping of ion beam induced current changes in FinFETs
AU  - C. D. Weis
AU  - A. Schuh
AU  - A. Batra
AU  - A. Persaud
AU  - I. W. Rangelow
AU  - J. Bokor
AU  - C. C. Lo
AU  - S. Cabrini
AU  - D. Olynick
AU  - S. Duhey
AU  - T. Schenkel
PY  - 2008
DO  - 10.1016/j.nimb.2009.01.019
UR  - https://arxiv.org/abs/0809.2113
ID  - 0809.2113
ER  -