TY  - RPRT
TI  - Wafer-Scale, Sub-5 nm Junction Formation by Monolayer Doping and Conventional Spike Annealing
AU  - Johnny C. Ho
AU  - Roie Yerushalmi
AU  - Gregory Smith
AU  - Prashant Majhi
AU  - Joseph Bennett
AU  - Jeffri Halim
AU  - Vladimir N. Faifer
AU  - Ali Javey
PY  - 2009
DO  - 10.1021/nl8032526
UR  - https://arxiv.org/abs/0901.1396
ID  - 0901.1396
ER  -