TY  - RPRT
TI  - Fabrication Technology of and Symmetry Breaking in Superconducting Quantum Circuits
AU  - T. Niemczyk
AU  - F. Deppe
AU  - M. Mariantoni
AU  - E. P. Menzel
AU  - E. Hoffmann
AU  - G. Wild
AU  - L. Eggenstein
AU  - A. Marx
AU  - R. Gross
PY  - 2009
DO  - 10.1088/0953-2048/22/3/034009
UR  - https://arxiv.org/abs/0901.3652
ID  - 0901.3652
ER  -