TY  - RPRT
TI  - AFM and TEM study of hydrogenated sputtered Si/Ge multilayers
AU  - C. Frigeri
AU  - L. Nasi
AU  - M. Serenyi
AU  - A. Csik
AU  - Z. Erdelyi
AU  - D. L. Beke
PY  - 2009
DO  - 10.1016/j.spmi.2008.10.023
UR  - https://arxiv.org/abs/0902.1679
ID  - 0902.1679
ER  -