TY  - RPRT
TI  - Investigation of Sb diffusion in amorphous silicon
AU  - A. Csik
AU  - G. A. Langer
AU  - G. Erdelyi
AU  - D. L. Beke
AU  - Z. Erdelyi
AU  - K. Vad
PY  - 2009
UR  - https://arxiv.org/abs/0902.2042
ID  - 0902.2042
ER  -