TY - RPRT TI - Single-Electron Capacitance Spectroscopy of Individual Dopants in Silicon AU - M. Gasseller AU - R. Loo AU - J. F. Harrison AU - M. Caymax AU - S. Rogge AU - S. H. Tessmer PY - 2009 UR - https://arxiv.org/abs/0904.2617 ID - 0904.2617 ER -