TY - RPRT TI - Etching of Graphene Devices with a Helium Ion Beam AU - M. C. Lemme AU - D. C. Bell AU - J. R. Williams AU - L. A. Stern AU - B. W. H. Baugher AU - P. Jarillo-Herrero AU - C. M. Marcus PY - 2009 DO - 10.1021/nn900744z UR - https://arxiv.org/abs/0905.4409 ID - 0905.4409 ER -