TY  - RPRT
TI  - Device fabrication and transport measurements of FinFETs built with $^{28}$Si SOI wafers towards donor qubits in silicon
AU  - CC Lo
AU  - A Persaud
AU  - S Dhuey
AU  - D Olynick
AU  - F Borondics
AU  - MC Martin
AU  - HA Bechtel
AU  - J Bokor
AU  - T Schenkel
PY  - 2009
DO  - 10.1088/0268-1242/24/10/105022
UR  - https://arxiv.org/abs/0906.1995
ID  - 0906.1995
ER  -