TY  - RPRT
TI  - Cavity optomechanics with stoichiometric SiN films
AU  - D. J. Wilson
AU  - C. A. Regal
AU  - S. B. Papp
AU  - H. J. Kimble
PY  - 2009
DO  - 10.1103/physrevlett.103.207204
UR  - https://arxiv.org/abs/0909.0970
ID  - 0909.0970
ER  -