TY - RPRT TI - Development of Thick-foil and Fine-pitch GEMs with a Laser Etching Technique AU - T. Tamagawa AU - A. Hayato AU - F. Asami AU - K. Abe AU - S. Iwamoto AU - S. Nakamura AU - T. Iwahashi AU - S. Konami AU - H. Hamagaki AU - Y. L. Yamaguchi AU - H. Tawara AU - K. Makishima PY - 2009 DO - 10.1016/j.nima.2009.07.014 UR - https://arxiv.org/abs/0910.0406 ID - 0910.0406 ER -