TY  - RPRT
TI  - Generic nano-imprint process for fabrication of nanowire arrays
AU  - Aurelie Pierret
AU  - Moira Hocevar
AU  - Silke L. Diedenhofen
AU  - Rienk E. Algra
AU  - E. Vlieg
AU  - Eugene C. Timmering
AU  - Marc A. Verschuuren
AU  - George W. G. Immink
AU  - Marcel A. Verheijen
AU  - Erik P. A. M. Bakkers
PY  - 2009
DO  - 10.1088/0957-4484/21/6/065305
UR  - https://arxiv.org/abs/0911.2235
ID  - 0911.2235
ER  -