TY  - RPRT
TI  - In-plane nanoelectromechanical resonators based on silicon nanowire piezoresistive detection
AU  - Ervin Mile
AU  - Guillaume Jourdan
AU  - Igor Bargatin
AU  - Sebastien Labarthe
AU  - Carine Marcoux
AU  - Philippe Andreucci
AU  - Sebastien Hentz
AU  - Chaddy Kharrat
AU  - Eric Colinet
AU  - Laurent Duraffourg
PY  - 2010
DO  - 10.1088/0957-4484/21/16/165504
UR  - https://arxiv.org/abs/1001.1727
ID  - 1001.1727
ER  -