TY  - RPRT
TI  - ESR studies of ion implanted phosphorus donors near the Si-SiO2 interface
AU  - Paul G. Spizzirri
AU  - Wayne D. Hutchison
AU  - Nikolas Stavrias
AU  - Jeffrey C. McCallum
AU  - Nakorn Suwuntanasarn
AU  - Libu K. Alexander
AU  - Steven Prawer
PY  - 2010
UR  - https://arxiv.org/abs/1002.1764
ID  - 1002.1764
ER  -